1、測量參數(shù)：Ra、Rp、Rv、Rt、Rz、Rq、Rsk、Rku、Rc、RPc、RSm、Rmr(c)、tp、Rmr、Rpm、Rz1max、RzJIS、Rmax、Htp、Rδc、、RΔq、RΔa、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、A1、A2 Pa、Pp、Pv、Pt、Pz、Pq、Psk、Pku、Pc、PSm、Pmr(c)、Pmr、Pz1max、PzJIS、Pδc、PΔq；
2、傳感器：檢測原理：電感式測量范圍：400μm 針尖半徑：5μm 針尖材料：金剛石觸針測力：4mN 觸針角度：90° 導頭縱向半徑：45mm
3、zui大驅動行程：19mm
4.量程±25μm,±200μm
5.分辨力0.001μm,0.008μm
5、波方式：2RC、GAUSS；
6、取樣長度：0.08mm，0.25mm，0.8mm，2.5mm；
7、評定長度：1L~5L（可選，L為取樣長度）
8、示值誤差：±10%
9、示值重復性：≤ 6%
10、工作環(huán)境：溫度：0℃ ~ 40℃ 溫度：0℃ ~ 40℃ 濕度：< 90% RH
11、外形尺寸及重量：主機：155.4 mm×75 mm×53mm mm，約580g 驅動器：120.5 mm×25.5 mm×28.5 mm，約165g
12、電源：內置電池：鋰離子充電電池電源適配器：輸入：100 V～240VAC，50/60Hz 輸出：9V，3A

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